네온
Neon은 주로 IC 칩의 미세 회로를 조각하는 데 사용되는 엑시머 레이저 블렌드의 제조에서 균형 가스로 사용됩니다.
레어가스
희귀하고 유용한
희귀 가스로도 알려진 희소한 가스는 인간에게 알려진 가장 불활성적이고 비반응적인 원소입니다. 희귀 가스는 매우 낮은 농도로 발견되며 (0.001818 % 네온, 0.000114 % 크립톤 및 0.0000087 % 크세논), 공기 분리 장치 (ASU)에서 생산 됩니다. 독특한 화학적 특성으로 인해 전문가들은 매우 새롭고 흥미로운 응용 분야를 찾아 냈습니다.
대부분의 희귀가스는 이온화 에너지가 매우 높기 때문에 매우 안정적입니다. 따라서 재료를 세척, 절단 또는 용접하는 이온 빔 소스로 매우 유용합니다. 또 다른 특성은 레이저 (네온 / 헬륨 레이저) 또는 광원 (크세논) 형태 일 수있는 밝은 빛을 생성하는 고유 한 능력입니다. 마지막으로, 그것들은 매우 무겁고 밀도가 높은 가스이기 때문에 추진 엔진이나 창문 단열재에 사용됩니다.
Air Products는 세계적인 저장 및 트랜스 필 시설 네트워크를 통해 전 세계에서 다양한 순도, 농도 및 공급 방식으로 희귀가스와 희귀가스 혼합 가스를 공급합니다.
희귀 가스 제조의 품질 및 효율성
희귀 가스는 공기 중에 매우 소량 존재하기 때문에 일컬어집니다.
크세논은 백만 킬로그램의 지구 대기 중 90 그램 밖에 나오지 않는 경우가 드 rare니다. 하루에 1,000 톤 이상의 산소를 생산하는 대형 공기 분리 플랜트에서만 상업적으로 추출됩니다.
Air Products에는 매우 불활성 인 아르곤 및 질소와 같은 불순물을 제거하는 데 필요한 효율적인 정제 기술이 있습니다.
당사는 아시아의 고순도 공장에서 희귀 가스를 실린더에 트랜스 필하여 고 부가가치 산업 부문에 사용하고 있습니다.
반도체 및 메모리 칩 제조용 제논
제논은 반도체 제조에서 마이크로 칩의 에칭 및 증착에 분위기, 플라즈마 및 에칭 및 증착 공정을위한 이온 빔 소스로 사용됩니다. 이 공정에서 사용되는 제논은 불순물이 실리콘 기판을 오염 시키거나 불소와 같은 공정 화학 물질과 반응하여 유독하고 부식성이 강한 플루오르 화 수소 (HF)를 생성하게되므로 매우 순수해야합니다. 전자 산업 분야의 글로벌 리더 인 Air Products의 제논은 최첨단 전자 제품 등급 공장에서 생산되어 품질 보증을 개선합니다. 엑시머 레이저, 레이저 버퍼 가스, DRAM 에칭, 3D NAND 및 플라즈마 디스플레이 패널에 사용할 수 있습니다.
통합 가스 공급
Air Products는 대형 공기 분리 플랜트에서 초 고순도 6.0 등급 가스에 이르기까지 모든 요구 사항을 충족하는 유연한 공급 옵션을 제공합니다.
Air Products 전문 지식을 믿고…
에어 프로덕츠의 전문가가 고객의 응용 분야에 적합한 희귀가스 솔루션을 찾을 수 있도록 지원합니다.
SDS 라이브러리
당사의 물질안전보건자료(SDS) 라이브러리를 사용하면 선택한 언어로 필요한 SDS를 검색하고 찾을 수 있습니다.