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플럭스리스 리플 로우를위한 활성 수소

웨이퍼 범프 및 구리 필러 리플로우를 포함한 웨이퍼 레벨 Packaging 애플리케이션을 위한 전매특허의 혁신적 기술

활성 수소는 전자 부착 (EA)을 기반으로하는 새로운 플럭스 프리 기술로, 질소에서 5 % 미만의 수소의 불연성 혼합물 (부피가 5 % 미만)을 사용하여 대기압 및 정상 솔더 리플로 온도에서 작동 할 수있는 전자 부착 (EA)을 기반으로하는 새로운 플럭스 프리 기술입니다.

전문가에게 문의

Greg Arslanian

글로벌 전자 산업 관리자

웨이퍼 범프 / Cu 기둥 리플로 납땜 공정을 개선하려면 어떻게해야합니까?

Air Products는 글로벌 전자 패키징 업계에서 25 년 간 특허를 보유한 특허 혁신을 바탕으로 새로운 플럭스 프리 납땜 기술을 개발했습니다. 시작 온도가 100°C인 압력에서 활성수소를 사용하여 반도체 웨이퍼의 전기 도금된 솔더 범프와 구리 fillar에서 금속 산화물을 제거하고 이러한 범프를 리플로우하여 패키지나 기판에 상호 연결할 수 있는 적절한 모양과 크기를 얻을 수 있습니다.

활성 수소 기술 은 질소 내 불연성 수소 혼합물(<5 vol%)을 사용하여 주변 압력과 정상 솔더 리플로 온도에서 작동할 수 있는 새로운 플럭스 프리 공정입니다. Air Products에 의해 개발된 이 기술은 다량의 저에너지 전자를 생성하는 기술입니다. 전자 중 일부는 수소 분자에 부착되어 효과적인 산화물 제거를 위해 활성 종을 형성한다.

이 고유한 기술을 활용하기 위해, Air Products는 Sikama International과 제휴하여 다음과 같은 기술을 도입했다. 전자 부착 플럭스리스 리플로 시스템 (EAUP1200) 전자 웨이퍼 레벨 패키징 부문에 적용됩니다. 퍼니스는 활성 수소 기술을 통해 UBM 웨이퍼의 땜납 범프에서 구리 산화물 웨이퍼와 땜납 캡의 금속 산화물을 제거하도록 설계되었습니다. 활성 수소는 수소 음이온을 생성하는데, 이는 전통적인 플럭스 과정이 없을 때 솔더의 리플로우를 최종 형태로 유도한다.

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