반도체 및 메모리 칩 제조용 제논
제논은 반도체 제조에서 마이크로 칩의 에칭 및 증착에 분위기, 플라즈마 및 에칭 및 증착 공정을위한 이온 빔 소스로 사용됩니다.
이 공정에서 사용되는 제논은 불순물이 실리콘 기판을 오염 시키거나 불소와 같은 공정 화학 물질과 반응하여 유독하고 부식성이 강한 플루오르 화 수소 (HF)를 생성하게되므로 매우 순수해야합니다.
전자 산업 분야의 글로벌 리더 인 Air Products의 제논은 최첨단 전자 제품 등급 공장에서 생산되어 품질 보증을 개선합니다.
엑시머 레이저, 레이저 버퍼 가스, DRAM 에칭, 3D NAND 및 플라즈마 디스플레이 패널에 사용할 수 있습니다.
