제논

크세논 가스 생산

Air Products는 1960 년대부터 위성 프로그램, 우주 여행, 우주선 추진제 및 위성 추진 장치에 크세논을 공급해 왔습니다. 또한 반도체, 조명 및 의료 시장에도 공급하고 있습니다.

Air Products는 필요한 순도를 알고 있습니다. 반도체 공정에 사용되는 크세논은 불순물이 실리콘 기판을 오염 시키거나 공정 화학 물질 (예 : 불소)과 반응하여 독성이 높고 부식성이 강한 플루오르 화 수소 (HF)를 생성하므로 매우 순수해야합니다.

항공 우주 산업에서는 전극의 민감한 특성으로 인해 전극을 태우지 않기 위해 크세논의 산소 및 수분 함량이 매우 낮아야합니다. Air Products 초 고순도 크세논은 우주와 암흑 물질에 대한 근본적인 연구를 수행하는 데 사용되는 감마선 및 X 선 분광기 검출기를 위해 특별히 설계되었습니다.

응용 분야

반도체 및 메모리 칩 제조

Air Products 고순도 크세논은 대기, 플라즈마 및 에칭 및 증착을위한 이온 빔 소스로 이상적입니다.

항공 우주 및 이온 엔진

전극의 긴 수명을 보장하려면 고순도 크세논이 중요합니다.

조명

고순도 크세논은 우수한 밝기와 긴 수명의 필라멘트를 보장하는 데 중요합니다.

암흑 물질 연구

초 고순도 크세논은 암흑 물질에 대한 감마선 및 X-ray 분광 검출기를 위해 특별히 설계되었습니다.

마취 및 CT 스캔

초 고순도 의료용 크세논은 신경계에 매우 안전하므로 마취에 사용됩니다.

레어가스

희귀 가스로도 알려진 희소한 가스는 인간에게 알려진 가장 불활성적이고 비반응적인 원소입니다. 레어가스는 매우 낮은 농도로 발견되며 공기 분리 장치(ASU)를 통해 생산됩니다. 독특한 화학적 특성으로 인해 전문가들은 매우 새롭고 흥미로운 응용 분야를 찾아 냈습니다.

더 알아보기

반도체 및 메모리 칩 제조용 제논

제논은 반도체 제조에서 마이크로 칩의 에칭 및 증착에 분위기, 플라즈마 및 에칭 및 증착 공정을위한 이온 빔 소스로 사용됩니다.
이 공정에서 사용되는 제논은 불순물이 실리콘 기판을 오염 시키거나 불소와 같은 공정 화학 물질과 반응하여 유독하고 부식성이 강한 플루오르 화 수소 (HF)를 생성하게되므로 매우 순수해야합니다.
전자 산업 분야의 글로벌 리더 인 Air Products의 제논은 최첨단 전자 제품 등급 공장에서 생산되어 품질 보증을 개선합니다.
엑시머 레이저, 레이저 버퍼 가스, DRAM 에칭, 3D NAND 및 플라즈마 디스플레이 패널에 사용할 수 있습니다.